这篇由南京理工大学苏岩教授团队在2019年《导航与控制》上发表的文章，把科氏振动陀螺仪（CVG）这一领域里高性能MEMS陀螺仪的发展现状梳理了个清楚。文章还提到了加州大学欧文分校（UCI）、东南大学还有清华大学在这个领域的研究工作。这篇文章的核心在于探讨MEMS陀螺仪走向导航级性能所面临的技术挑战。根据IEEE STD 1431中的定义，MEMS谐振陀螺仪根据振动模式的不同分为两类：I型科氏振动陀螺仪（I-CVGs），比如音叉结构；还有II型科氏振动陀螺仪（II-CVGs），比如半球、环形结构等。 自从米兰理工2019年报道了一种基于纳机电系统（NEMS）压阻应力传感的音叉结构之后，国内在这方面也展开了很多研究。比如东南大学的双质量陀螺仪就属于这个范畴。与之相比，II型陀螺仪的机械灵敏度极高，高品质因子（Q值）也成为它的重要特征。像清华大学四质量陀螺仪和加州大学欧文分校（UCI）的双傅科摆陀螺仪就是典型代表。 在这个过程中，I型MEMS谐振陀螺仪的标度因数和增益受Q值影响较小。不过这类陀螺仪也有明显缺点：哥式效应带来的机械增益小，再加上电噪声对结构产生角度随机游走较大，所以信噪比的提高成了I型陀螺仪走向高性能的一个关键挑战。而II型陀螺仪广义上指的是工作在小频差或模态匹配的陀螺仪。 尽管国内已经取得了显著进步，要实现导航级性能还得继续努力。文章指出了几点重要方向：首先是高参数设计来提升Q值和信噪比；其次是正交解耦来抑制误差；接着是优化锚点设计减少寄生电容；然后是提升封装精度解决工艺问题；再者是低应力封装提升稳定性；最后就是精准测控实现闭环控制。