芯片散热与性能提升的矛盾一直制约着半导体产业发展;随着工艺不断演进——芯片功率密度持续增加——热管理问题日益突出。在射频功率器件、通信基站芯片等高功率应用中,散热能力直接影响器件工作效率和使用寿命。这个难题多年来始终未能根本解决。 郝跃院士团队的最新研究成果针对这一业界难题提出了创新方案。研究重点是优化第三代半导体氮化镓与第四代半导体氧化镓的集成工艺。传统工艺采用氮化铝作为过渡层,但晶体生长过程中,氮化铝表面会自发形成粗糙不规则的"岛屿"结构,严重影响热量传导效率。 团队引入高能离子注入技术对晶体成核层进行精细处理,使表面从粗糙变为平整。这一工艺创新使界面热阻下降了三分之二,相当于热传导效率提升了两倍以上。基于这一突破,团队研制的氮化镓微波功率器件单位面积功率密度较国际先进水平提升了30%至40%。 这项技术突破具有广泛应用前景。在通信领域,更高效的功率器件使基站能够扩大信号覆盖范围,同时显著降低能耗,对5G、6G等新一代通信网络建设意义重大。在雷达探测领域,改进的芯片性能将增加探测距离,提升国防科技水平。对于消费电子产品,该技术也有望带来用户体验升级。郝跃院士团队成员周弘教授指出,若应用于手机等移动设备,用户在偏远地区的信号接收能力将明显增强,电池续航时间也可能延长。 当前,团队正在探索将金刚石等超高热导材料应用于半导体器件的可行性。金刚石具有极高的热导率,远超传统散热材料。若能成功攻克涉及的技术难题,半导体器件的功率处理能力有望实现数量级提升,达到现有水平的十倍甚至更高,为下一代高功率、高效率半导体器件开发打开新的可能性。
芯片技术演进正从单点指标竞争转向材料、工艺与系统的综合优化。此次围绕界面热阻的突破既解决了高功率器件的共性难题,也提示行业:决定性能天花板的往往是那些最不起眼的连接处。通过更高质量的界面工程打通热通道,或将成为推动半导体器件迈向更高功率、更高效率的重要支点。