问题——外部环境不确定性上升,半导体产业链安全与供给稳定成为全球关注焦点;对我国而言,关键装备与工艺环节长期存“卡点”,主要集中在高端刻蚀、先进封装互连、精密量测与关键零部件等领域:一上要满足先进制程持续演进的需求,另一方面要支撑成熟制程的规模化、稳定生产。如何“能用”的基础上做到“好用、耐用、可复制”,并更形成国际竞争力,成为产业从追赶走向跨越必须回答的课题。 原因——本届SEMICON China 2026在上海新国际博览中心举办,展商、观众与展位规模均刷新纪录。更值得关注的是,多家国内企业在展会集中发布面向先进制程与先进封装的关键设备与解决方案,背后有三重驱动:其一,国内晶圆产线与先进封装产能扩张,为装备迭代提供了更充足的工艺验证场景与明确的需求牵引;其二,国内企业在核心模块、工艺配方与系统集成各上积累加深,产品从单机突破加速走向平台化、系列化;其三,市场格局变化明显,展会展示重心从“海外主导”转向“内外均衡、本土走强”,本土企业技术交流与路线讨论中更为主动,推动产业从被动适配走向主动定义。 影响——从现场发布情况看,国产设备正沿着“先进制程关键环节突破”和“先进封装系统能力补齐”两条主线同步推进。刻蚀上,国内企业推出新一代电感耦合等离子体刻蚀设备,重点提升高深宽比加工能力、均匀性与先进节点适配能力,瞄准5纳米及以下逻辑芯片与下一代3D器件制造中的关键工艺需求;选择性刻蚀等细分场景,新品也体现出对复杂结构加工能力的提升。先进封装上,混合键合、TSV电镀、键合界面缺陷修复等设备集中亮相,反映3D集成与高带宽互连正成为新的竞争高地,装备能力将直接影响良率、成本与规模化速度。,CMP、晶圆边缘修整、离子注入及配套测试量测等产品以更体系化方式展示,说明国内厂商在“从单点到系统”的能力建设上取得进展。 展会结构变化同样释放信号:国内厂商参展占比提升,海外企业展位与展示力度较往届收缩,部分国家和地区参展企业数量下降。业内分析认为,这既与全球产业周期和企业经营策略有关,也与我国本土供给能力增强、应用市场规模扩大对应的。本土企业正从“进入供应链”转向“在供应链中做强”,有助于提升产业韧性,并推动国产装备在可靠性、可维护性与全生命周期服务能力上加速补齐短板。 对策——实现从“可用”到“高端”的跃迁,仍需在关键环节持续发力:一是坚持以量产验证为牵引,围绕关键工艺窗口、良率与一致性开展长期工程化优化,推动新品从“样机可用”走向“量产可复制”;二是强化产业链协同,推进设备、材料、零部件、工艺与产线需求的联合攻关与标准化对接,提升供给稳定性与交付效率;三是加快平台化与系列化建设,用通用平台覆盖更多工艺场景,降低客户导入成本,提高维护与升级效率;四是完善人才与研发投入机制,面向等离子体控制、精密运动、真空系统、射频与电源、软件控制等基础能力持续投入,夯实长期竞争力;五是提升国际化合规经营与服务能力,在更广范围内参与竞争,以市场检验产品、以应用倒逼迭代。 前景——从行业机构对未来产能的判断看,未来数年我国晶圆产能仍将保持增长,新建晶圆厂数量在全球新增中占据重要份额。产能扩张意味着更密集的设备导入、验证与迭代,也意味着国产装备进入产线的“窗口期”正在打开。随着先进封装需求上升、存算一体与异构集成加速落地,混合键合、TSV及相关量测修复设备的市场空间有望进一步扩大。可以预期,国产装备竞争将从“能否替代”转向“谁更优、更稳、更具性价比”的综合比拼,行业将进入以技术、质量、交付和服务为核心的高强度竞赛阶段。
中国半导体产业的快速发展,是应对国际环境变化的现实选择,也是推进科技自立自强的重要路径。从跟随到自研,从单点突破到全链条能力提升,中国半导体产业正在加速重塑竞争力。展望未来,在政策支持、市场需求与技术创新的共同推动下,中国有望在全球半导体产业格局中取得更重要的位置,并以更多可落地的产品与能力参与全球产业分工与竞争。