长期以来,半导体产业面临着一道世界性难题:如何将性能优异的新一代材料高质量地制造出来。
这一看似简单的命题,却成为制约芯片性能提升的关键瓶颈。
日前,西安电子科技大学郝跃院士、张进成教授领衔的科研团队在这一核心领域实现重大突破,相关研究成果已在国际权威学术期刊《自然·通讯》和《科学·进展》发表,标志着我国在前沿半导体技术领域迈出突破性步伐。
在半导体器件制造中,不同材料层之间的界面质量对整体性能起着决定性作用。
以氮化镓为代表的第三代半导体和以氧化镓为代表的第四代半导体,在集成过程中普遍采用氮化铝作为中间过渡层。
然而,传统工艺条件下,氮化铝层在生长过程中会自发形成不规则的岛状结构,表面粗糙度极高,导致热量在界面传递时遭遇巨大阻力。
该团队成员周弘研究员形象地描述了这一现象:岛状结构就如同在崎岖不平的地基上建造房屋,热量无法顺畅传导,在芯片内部不断累积,最终引发性能衰减甚至器件失效。
这一技术瓶颈自2014年相关成核理论获得诺贝尔奖以来始终未能解决,严重制约了射频芯片功率密度的提升空间。
针对这一难题,研究团队从材料生长机理入手,创新性地开发出离子注入诱导成核技术。
这项技术的核心在于将原本随机、无序的材料生长过程,转变为精确可控的均匀生长模式。
通过精准调控离子注入参数,团队成功实现了氮化铝层从多晶岛状结构向单晶薄膜结构的根本性转变。
这一工艺革新带来的效果显著。
新型单晶薄膜结构在原子层面实现了高度规整排列,界面缺陷大幅减少,热传导通道得以畅通。
实验数据表明,新结构的界面热阻仅为传统岛状结构的三分之一,散热效率获得质的飞跃。
技术突破迅速转化为实际应用成果。
基于这项创新工艺制备的氮化镓微波功率器件,在X波段和Ka波段分别达到每毫米42瓦和20瓦的输出功率密度,将国际同类器件性能记录提升30%至40%,创下近二十年来该领域最大幅度进步。
这意味着在芯片尺寸不变的前提下,雷达探测距离可显著延伸,通信基站的信号覆盖范围可大幅扩展,同时能耗水平明显降低。
从应用前景看,这项技术的价值远超实验室数据本身。
在5G和6G通信网络建设、卫星互联网部署等战略性新兴产业领域,高性能射频芯片是不可或缺的核心器件。
周弘表示,虽然当前民用手机等终端设备尚不需要如此高的功率密度,但基础技术进步具有普惠性质,未来将逐步惠及普通消费者,使偏远地区的通信信号接收能力增强,移动设备续航时间延长。
更具战略意义的是,这项研究开辟了一条可复制、可推广的技术路径。
研究团队成功将氮化铝从特定功能的粘合材料,转化为具有广泛适配性的通用集成平台,为解决各类半导体材料高质量集成这一世界性难题,提供了系统性的中国方案。
面向未来,研究团队已将目光投向性能更优的材料体系。
周弘透露,如果能够将中间层材料替换为导热性能更强的金刚石,器件的功率处理能力有望再提升一个数量级,达到现有水平的十倍甚至更多,这将为我国在全球半导体产业竞争中赢得更大主动权。
半导体领域的竞争,既是材料性能的竞争,更是制造工艺与系统工程能力的竞争。
把“看得见的材料优势”转化为“做得出的稳定性能”,关键往往落在界面这样看似微小却决定成败的环节。
此次从成核机制入手、以工艺创新打通界面散热瓶颈的探索,体现了面向国家重大需求与未来产业方向的持续攻关路径,也为我国在高端射频与先进半导体器件领域实现更高水平自主可控、形成可复制的技术体系提供了新的注脚。