2021年3月，海目芯微成立，它作为海目星激光集团股份有限公司旗下的子公司，一直专注于自主创新。海目芯微把总部设在深圳，还给成都和江西基地都配上了14000平米的厂房，这样既能保障研发的领先，又能实现设备的快速量产。为了推动产业进步，海目芯微围绕显示面板超快激光装备、微米级光刻机装备、第三代半导体（SiC）装备这几大核心领域展开布局。这个公司还通过了ISO国际质量管理体系认证，并且拿下了国家高新技术企业、“专精特新”中小企业等多个资质，这些认证就是对他们产品质量和管理水平的肯定。 今年他们成功研发出了直径12英寸的碳化硅单晶晶锭。之前他们就已经把8英寸碳化硅长晶工艺的缺陷率控制得很稳了。这次不仅是6、8、12英寸全尺寸长晶技术链的全面自主可控，还通过提高热场寿命、降低功耗等手段，把长晶成本大幅降下来。做更大尺寸的晶体生长技术，里面的热梯度和径向温度场很复杂，内应力大会影响质量。海目芯微用自己研发的电阻式长晶设备加上迭代的工艺技术，搞出了创新的温场设计来控制晶体完整性，保证了大尺寸晶体能稳定生长出来。这次做出来的晶锭结晶质量特别好，结构也完整，充分显示出他们在核心技术和工艺上都有大突破。 海目星激光科技集团股份有限公司股票代码是688559，这次在碳化硅产业发展的大好机会下，他们给子公司深圳市海目芯微电子装备科技有限公司赋予重任。为了让大家更好地了解这些进展，就详细介绍一下他们在这个领域的成绩吧。未来海目芯微还要继续攻克长晶、衬底加工这些核心问题的技术壁垒，用持续的创新构建竞争力，帮企业发展得更好，为碳化硅产业多做贡献。