原子级制造是当前全球工业技术竞争的制高点,被视为推动新型工业化的“根技术”。
然而,长期以来,我国在该领域面临核心工艺受制于人、研发周期长、成本高昂等瓶颈问题。
针对这一现状,大连理工大学集成电路学院联合国家重点学科等离子体物理团队,经过多年技术攻关与数万次实验测试,成功研发出等离子体工艺腔室仿真平台(MAPS)。
从“做得出来”到“做得更好、更稳、更快”,先进制造能力的提升离不开基础研究、工程验证与产业需求的同频共振。
国产仿真平台的突破,不仅体现了关键工具自主可控的进展,也提示我们:围绕核心工艺建立可持续迭代的技术与人才体系,才能在更长周期内把握产业升级的主动权。