Canon anelva 给你介绍一个佳能真空电容式压力表，型号是M-342DG。这是MEMS技术的产品，也是佳能真空的代表作。这次推出了多个型号，比如M-342DG-1D、-1N、-11、-12和-13。满量程压力从13.33 Pa到133.3k Pa都有选择。测量精度在0.20%范围内，特别适合在23°C的环境下使用。零点温度系数0.01% FS/℃、跨度温度系数0.01% FS/℃，这些规格都能保证在不同温度下的准确性。分辨率和测量下限压力都能达到0.01%，实际控制下限压力也在0.5%以内。响应时间有两种：100毫秒和30毫秒。压力上限是200 kPa，不过对于NW16和NW25，内部压力不能为正。这个表需要的电源电压是+13.5到26.4 VDC，功耗只有0.5瓦。模拟输出是0到10 VDC。工作温度范围是0到50°C，存储温度范围是-20到70°C。 把M-342DG跟显示设备配合使用就更好了，M-601GC是单通道连接型，M-603GC是三通道连接型。适合用在半导体、显示器、太阳能电池等行业的各种真空设备里。比如溅射、PECVD还有其他的真空沉积工艺，装载锁室、晶圆冷却这些气体引入工艺以及系统压力管理也都能搞定。医疗、生物、食品还有各种研发应用也少不了它的身影。 电容式压力表“M-342DG”是隔膜式真空压力表。压力传感器部分用了小型硅MEMS芯片，这样就可以把温度、振动和气压波动等外部因素的影响降到最低，实现高精度稳定的测量。这个产品的结构非常紧凑，功耗低。重量只有200克，尺寸是宽46毫米 x 高49毫米 x 长106毫米（适用于NW16接头规格）。 还有它的气体接触材料有SUS304、SUS316、硅、玻璃和氟橡胶这些选择。法兰形状和质量有NW16（200克）、NW25（210克）、8-VCR女性（250克）和φ70ICF（460克）等不同款式。它还通过了CE认证、RoHS认证还有IP40防护等级这些标准。 用这个电容式压力表可以轻松应对各种需要高精度和长期稳定测量的场景。无论是涉及涂层、等离子处理还是灭菌这些领域都没问题。这次佳能给大家提供了一个强大的工具，让大家在测量和监控真空系统的时候更加轻松高效。